HEPA, използван от ефективния изпускателен отвор за въздух, възприема местната марка H14 с висока производителност, маслоустойчив филтърен елемент с ниско съпротивление, чрез вътрешната усъвършенствана линия за сглобяване на оригами в производството и инсталирането на чисти помещения, ефективност на филтриране ≥0,3 um, прах ≥99,99% ( метод на натриев капан), за да се гарантира, че чистотата на чистата маса е до ISO5 (FEDERAL 209E100).
DOP/ порт за откриване на диференциално налягане, резервоар за течност, регулиран надолу въздушен клапан, дифузьор, завихряща се и друга дифузьорна плоча.Всичко.